[发明专利]一种静电力反馈挠性摆式加速度计在审
申请号: | 201910997709.6 | 申请日: | 2019-10-18 |
公开(公告)号: | CN110702944A | 公开(公告)日: | 2020-01-17 |
发明(设计)人: | 张习文;李鹏飞;白晓荣;梁璞;魏渊;雷宏杰;朱普辉;吴斌 | 申请(专利权)人: | 中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所 |
主分类号: | G01P15/093 | 分类号: | G01P15/093 |
代理公司: | 11008 中国航空专利中心 | 代理人: | 杜永保 |
地址: | 710076 陕*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开一种静电力反馈挠性摆式加速度计,包括表芯,表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9),硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和挠性支承梁(2),静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和两者之间的动片(4),光学位移传感器中的可动光窗(5)固定在动片(4)上,检测动片位移,静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)叠装固定在底座(9)上,动片(4)与静电力反馈上极板(3)及静电力反馈下极板(8)的间隙中设有限位凸台(11)。本发明通过结合光学位移检测、静电力反馈和整体摆,应用于加速度计测量,可实现精度为μg0/ppm级的加速度测量。 | ||
搜索关键词: | 静电力反馈 动片 上极板 下极板 光学位移传感器 力矩器 摆片 表芯 定片 底座 挠性摆式加速度计 光学位移检测 加速度测量 电力反馈 加速度计 挠性支承 叠装 光窗 可动 凸台 测量 检测 应用 | ||
【主权项】:
1.一种静电力反馈挠性摆式加速度计,包括表芯,其中所述表芯包括硅摆片(10)、光学位移传感器、静电力反馈力矩器和底座(9),所述硅摆片(10)包括定片(1)、动片(4)和连接这两部分的挠性支承梁(2),所述光学位移传感器包括光源(6)、光电接收器(7)及可动光窗(5),所述静电力反馈力矩器包括静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)和介于两者之间间隙中的动片(4),可动光窗(5)固定在动片(4)上,并介于光源(6)和光电接收器(7)之间,用于检测动片(4)的位移,静电力反馈上极板(3)、定片(1)和静电力反馈下极板(8)三者叠装在一起,并固定在底座(9)上,所述动片(4)的上下表面、静电力反馈上极板(3)的下表面和静电力反馈下极板(8)的上表面有金属镀层(12),且动片(4)分别和静电力反馈上极板(3)、静电力反馈下极板(8)形成的间隙中设有限位凸台(11)。/n
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