[发明专利]清洗方法在审
| 申请号： | 201911269695.2 | 申请日： | 2019-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN110935688A | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 乔焜;高明哲;林岳明 | 申请（专利权）人： | 上海玺唐半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B9/093;B08B9/08 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 201600 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及反应釜清洗技术领域，特别涉及一种清洗方法，包括向所述反应釜腔室注入清洗水，控制所述超声波清洗器向清洗水介质中发射超声波对所述反应釜腔室内壁上的残留物进行一次清洗；当所述一次清洗完成后，向所述反应釜腔室注入反应溶液，所述反应溶液用于与部分所述残留物发生反应以产生溶解物；控制所述超声波清洗器向所述反应溶液介质中发射超声波对所述溶解物进行二次清洗；当所述二次清洗完成后，向所述反应釜腔室内再次注入所述清洗水并控制所述超声波清洗器发射超声波对所述反应釜腔室内残留的反应溶液进行三次清洗。通过将超声波清洗技术应用到对反应釜的三次清洗过程中，可以在不挪动反应釜的情况下，实现对反应釜的高效清洗工作。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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