[发明专利]微电机系统多层压电致动器的制备方法

摘要

本发明公开了一种微电机系统多层压电致动器的制备方法，属于压电陶瓷的制备方法。其制备步骤是：将原料粉体Pb3O4、ZrO2、TiO2、Sb2O3、Nb2O5、NiO、Bi2O3、MgO、Li2CO3混合后再与无水乙醇混合、球磨4h后烘干、过筛，得生瓷粉；瓷粉烧结2h，冷却、过筛，得瓷粉；瓷粉与无水乙醇混合、球磨4h，烘干、过筛；瓷粉与丁酮溶液混合、球磨12h后再与粘接剂、增塑剂混合、继续球磨12h，得浆料；按8‑15㎜/s的速度流延成膜片；在膜片表面印刷内电极浆料而形成内电极；将膜片裁切成压电陶瓷生片，叠摞压制成型，得多层压电陶瓷生坯；然后排胶烧结，得多层压电陶瓷；在多层压电陶瓷的两端面印刷外电极浆料，烘干；对多层压电陶瓷进行极化处理。