[发明专利]集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器和制备方法有效
| 申请号： | 201911334712.6 | 申请日： | 2019-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN111129279B | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张文;李佩展;耿悦;钟家强;王争;史生才 | 申请（专利权）人： | 中国科学院紫金山天文台 |
| 主分类号： | H10N60/84 | 分类号： | H10N60/84;H01L31/0232;G01J1/42 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 陈月菊 |
| 地址： | 210023 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器，包括依次层叠的介质基板、第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜，第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜构成用以吸收光子信号的光学腔体；所述第一多层光学薄膜包括交替层叠的两层金膜和两层钛膜，由下至上分别被定义成第一薄膜、第二薄膜、第三薄膜、第四薄膜，其中附着在介质基板表面的第一薄膜为钛膜，通过调节第二薄膜和第三薄膜的相对厚度以调整单光子探测器的临界温度。本发明能够通过消除底部反射镜，大大简化超导TES单光子探测器的设计和制备，显著提高超导TES单光子探测器的探测效率，降低暗计数。 | ||
| 搜索关键词： | 集成 多层 光学薄膜 超导 tes 光子 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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- 2019-12-23 - 2023-07-18 - H10N60/84
- 本发明公开了一种集成多层光学薄膜的超导TES单光子探测器，包括依次层叠的介质基板、第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜，第一多层光学薄膜、第二多层光学薄膜构成用以吸收光子信号的光学腔体；所述第一多层光学薄膜包括交替层叠的两层金膜和两层钛膜，由下至上分别被定义成第一薄膜、第二薄膜、第三薄膜、第四薄膜，其中附着在介质基板表面的第一薄膜为钛膜，通过调节第二薄膜和第三薄膜的相对厚度以调整单光子探测器的临界温度。本发明能够通过消除底部反射镜，大大简化超导TES单光子探测器的设计和制备，显著提高超导TES单光子探测器的探测效率，降低暗计数。
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