[实用新型]一种小型化学机械抛光用下蜡装置有效
| 申请号： | 201920260094.4 | 申请日： | 2019-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN209615160U | 公开（公告）日： | 2019-11-12 |
| 发明（设计）人： | 张泽芳;彭诗月 | 申请（专利权）人： | 上海映智研磨材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 南京思拓知识产权代理事务所(普通合伙) 32288 | 代理人： | 苗建 |
| 地址： | 201802 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种小型化学机械抛光用下蜡装置，包括可旋转加热盘、载物盘、滴液管和吸盘组件，所述可旋转加热盘包括加热盘体和驱动机构；所述驱动机构设于所述加热盘体的下方，其输出轴与所述加热盘体相连，用于驱动所述加热盘体按照一定转速旋转；所述载物盘设于所述加热盘体的顶表面上，其顶表面用于放置抛光工件；所述滴液管设于所述载物盘的上方，其一端位于所述载物盘上方，另一端用于连接蜡源；所述吸盘组件设于所述载物盘的上方，其包括支架和若干个吸盘，各吸盘均与所述支架的底部相连，其工作面正对于所述载物盘，用于吸附位于载物盘上的抛光工件。本实用新型结构简单，使用方便，能够大大减小抛光下蜡时间，提高实验效率和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 加热盘体 物盘 吸盘 化学机械抛光 本实用新型 抛光工件 驱动机构 吸盘组件 滴液管 顶表面 加热盘 可旋转 蜡装置 载物盘 支架 实验效率 输出轴 抛光 减小 吸附 驱动 | ||
【主权项】：
1.一种小型化学机械抛光用下蜡装置，其特征在于，包括：可旋转加热盘，所述可旋转加热盘包括加热盘体和驱动机构；所述驱动机构设于所述加热盘体的下方，其输出轴与所述加热盘体相连，用于驱动所述加热盘体按照一定转速旋转；载物盘，所述载物盘设于所述加热盘体的顶表面，载物盘的顶表面用于放置抛光工件；滴液管，所述滴液管设于所述载物盘的上方，其一端位于所述载物盘上方，另一端用于连接蜡源；吸盘组件，所述吸盘组件设于所述载物盘的上方，其包括支架和若干个吸盘，各吸盘均与所述支架的底部相连，吸盘的工作面正对着所述载物盘，用于吸附位于载物盘上的抛光工件。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海映智研磨材料有限公司，未经上海映智研磨材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201920260094.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
