[发明专利]面内磁化膜、面内磁化膜多层结构、硬偏置层、磁阻效应元件和溅射靶有效

专利信息
申请号: 201980071989.6 申请日: 2019-10-30
公开(公告)号: CN113228208B 公开(公告)日: 2023-06-02
发明(设计)人: 谭金光;栉引了辅;青野雅广;渡边恭伸 申请(专利权)人: 田中贵金属工业株式会社
主分类号: H01F10/16 分类号: H01F10/16;H01F41/18;H10N50/10
代理公司: 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 代理人: 盛曼;金龙河
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供具有2.00kOe以上的矫顽力Hc且每单位面积的剩磁Mrt为2.00memu/cm2以上的CoPt‑氧化物系的面内磁化膜。本发明是作为磁阻效应元件(12)的硬偏置层(14)使用的面内磁化膜(10),其中,含有金属Co、金属Pt和氧化物,相对于面内磁化膜(10)的金属成分的合计,含有55原子%以上且小于95原子%的金属Co,含有大于5原子%且45原子%以下的金属Pt,相对于面内磁化膜(10)的整体,含有10体积%以上且42体积%以下的所述氧化物,厚度为20nm以上且80nm以下。
搜索关键词: 磁化 多层 结构 偏置 磁阻 效应 元件 溅射
【主权项】:
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