[发明专利]压电传感器及其制造方法、检测装置有效
| 申请号： | 202010603068.4 | 申请日： | 2020-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN111725384B | 公开（公告）日： | 2023-07-04 |
| 发明（设计）人： | 牛菁;周婷婷;张方振;彭锦涛 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H10N30/00 | 分类号： | H10N30/00;H10N30/30;H10N30/01;H10N30/06;G01D5/14 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 王莉莉 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种压电传感器及其制造方法、检测装置，涉及传感技术领域。所述压电传感器包括：阵列基板；第一盖层，位于所述阵列基板上，所述第一盖层包括第一部分和第二部分，其中所述第一部分覆盖所述阵列基板，所述第二部分与所述阵列基板之间具有空腔且具有第一开口；第一电极，位于所述第一盖层的上方，且位于所述空腔的上方；压电薄膜，位于所述第一电极上；以及第二电极，位于所述压电薄膜上。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 传感器 及其 制造 方法 检测 装置 | ||
【主权项】：
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