[发明专利]红外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010638137.5 申请日: 2020-07-06
公开(公告)号: CN111525023B 公开(公告)日: 2020-10-09
发明(设计)人: 魏斌;翟光杰;翟光强 申请(专利权)人: 北京北方高业科技有限公司
主分类号: H01L37/02 分类号: H01L37/02;H01L27/16;G01J5/12
代理公司: 北京开阳星知识产权代理有限公司 11710 代理人: 安伟
地址: 100070 北京市丰台*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开涉及一种红外探测器及其制备方法,红外探测器包括多个阵列排布的探测器像元,每个探测器像元包括电极层,电极层上设置有多个阵列排布的图案化镂空结构,图案化镂空结构呈开口圆环状;红外探测器的红外吸收谱段为3微米至30微米波段。通过本公开的技术方案,实现了红外探测器的宽谱吸收,大大提高了红外探测器对目标物体温度红外辐射能量的吸收率,进而使得红外探测器具有较高的探测灵敏度。
搜索关键词: 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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