[发明专利]叉指电极结构及其制造方法和具有该结构的声表面波器件有效
| 申请号： | 202010761971.3 | 申请日： | 2020-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN111934644B | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李林萍;盛荆浩;江舟 | 申请（专利权）人： | 见闻录（浙江）半导体有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145 |
| 代理公司： | 厦门福贝知识产权代理事务所(普通合伙) 35235 | 代理人： | 陈远洋 |
| 地址： | 313000 浙江省湖州市康*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 公开了一种叉指电极结构，叉指电极结构被设置在衬底上，其中叉指电极结构中的叉指电极的末端被离子注入以形成掺杂部。还公开了一种声表面波器件，其包括以上叉指电极结构，声表面波器件为滤波器或谐振器。另外，还公开了一种用于制造叉指电极结构的方法，包括制备具有压电层的衬底；在衬底上制作叉指电极；以及对叉指电极进行离子注入以在叉指电极的末端形成掺杂部。通过在叉指电极末端进行离子注入形成掺杂部，在不变剂加权、不调整叉指电极厚度等前提下改善了电极末端的电场梯度变化，抑制寄生振荡，最终提升声表面波器件的性能。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 结构 及其 制造 方法 具有 表面波 器件 | ||
【主权项】：
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