[发明专利]离子源的电源控制方法、系统及离子源装置有效
| 申请号： | 202010802515.9 | 申请日： | 2020-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN111933503B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14;H01J49/10;H01J49/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源的电源控制方法、系统及离子源装置，所述方法包括：根据电源系统输出的总电流值确定各个霍尔离子源的分支电流值；在各个所述霍尔离子源和中空阴极运行中，分别检测各个所述霍尔离子源的电流传感器反馈的实际电流值；将各个所述霍尔离子源对应的实际电流值与其设定的分支电流值的进行比对并计算气体流量控制参数；依据所述气体流量控制参数调整输入霍尔离子源的气体流量，以控制相应霍尔离子源的实际电流值与其设定的分支电流值相匹配。本申请实现了对多霍尔离子源工作时电流控制，能够对各个霍尔离子源的电流进行精确分配，优化了电源控制效果，提升了各个霍尔离子源的工作效果。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 电源 控制 方法 系统 装置 | ||
【主权项】：
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- 孙振 - 常州酷睿智能科技有限公司
- 2019-11-29 - 2020-05-05 - H01J27/14
- 本实用新型涉及霍尔离子源领域，具体是一种霍尔离子源磁极冷却装置，包括磁极和冷却箱，冷却箱的中间开设有供磁极穿过的通孔，磁极的外侧设置有导热套，所述冷却箱的内部设置有环形隔板，所述环形隔板将冷却箱分隔成风冷腔和水冷腔，导热套的外侧设置有若干导热杆，冷却箱的外侧设置有散热罩，所述散热罩上设置有若干散热翅，所述导热杆依次穿过风冷腔和水冷腔并与散热罩连接，所述风冷腔的下端设置有进风管，所述进风管上设置有风机，进风管的下端设置有净化装置，风冷腔的上端设置有排风管。本装置的结构设置，可以根据磁极的温度，选择不同的散热模式，在保证散热效率的同时，不会造成资源的浪费，实用性强。
- 一种霍尔离子源装置-202010135773.6
- 王伟;卢成 - 成都国泰真空设备有限公司
- 2020-03-02 - 2020-04-28 - H01J27/14
- 本发明涉及离子源技术领域，具体而言，涉及一种霍尔离子源装置，包括：壳体、磁钢、冷却板、导热板和阳极件。将导热板可拆卸式连接于阳极件与冷却板之间。当导热板损坏时，只需对导热板进行更换，无需对冷却板和阳极件进行更换，如此，能够方便对导热板、阳极件和冷却板进行拆卸和更换，从而极大地降低维护成本。
- 霍尔离子源采样保护隔离表头-201920951677.1
- 薛照明;李围红;李成千;薛海 - 成都金雅克电气有限公司
- 2019-06-24 - 2020-04-07 - H01J27/14
- 本实用新型公开了一种霍尔离子源采样保护隔离表头，包括：一数值面板；一光电隔离传感器；一一号三级管；一二号三级管；一三号三级管；一四号三级管；一电源模块；一电源插件；所述光电隔离传感器、所述三号三级管、所述四号三级管、所述电源模块和所述电源插件为串联线路；所述数值面板并联与所述光电隔离传感器，所述数值面板并联与所述一号三级管和所述二号三级管，所述一号三级管并联与所述三号三级管，所述二号三级管并联与所述四号三级管。本实用提供的霍尔离子源采样保护隔离表头，实现了建立一个独立公共点的信号来采集信号的目的，使用PLC或单片机便可以直接从此表头也就是数值面板进行釆集信。
- 离子源-201710521360.X
- 甲斐裕章;西村一平 - 日新离子机器株式会社
- 2017-06-30 - 2019-07-16 - H01J27/14
- 本发明提供一种离子源，不需要用于将支承基体保持在所希望的位置的止动件或控制就能将支承基体简单地保持在所希望的位置。在等离子体生成室周围配置永磁铁的离子源具备：阴极，插通于等离子体生成室内，向等离子体生成室内放出电子；支承基体，设置于等离子体生成室外部而支承阴极；驱动机构，使支承基体向从等离子体生成室的外壁面拉开的方向移动；以及伸缩部件，介于支承基体与等离子体生成室的外壁面之间并覆盖贯通孔的周围，将支承基体与等离子体生成室的外壁面之间的空间保持为气密，被驱动机构的驱动力从等离子体生成室的外壁面拉开的处于后退位置的支承基体被吸引力向相比后退位置靠等离子体生成室的外壁面处拉近而被保持在前进位置。
- 专利分类
