[发明专利]静电消除装置以及静电消除方法在审
| 申请号： | 202010904170.8 | 申请日： | 2018-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN111885806A | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 野村信雄;最上智史;峯村和树;神田大树;森下贵都;细田聪史;国中均 | 申请（专利权）人： | 春日电机株式会社;国立研究开发法人宇宙航空研究开发机构 |
| 主分类号： | H05F3/04 | 分类号： | H05F3/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 吕琳;朴秀玉 |
| 地址： | 日本神奈*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及静电消除装置以及静电消除方法。该静电消除装置具备：真空室，能在内部设置带电体；高真空处理部，配置于所述真空室的内部，对所述带电体执行高真空处理；以及静电消除处理部，具备向所述真空室的内部供给由电子回旋共振产生的等离子体的等离子体发生装置，通过所述等离子体对所述带电体进行静电消除。所述等离子体发生装置具备等离子体源，所述等离子体源设置于所述真空室的内部并且产生对所述带电体进行静电消除的所述等离子体。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 消除 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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