[发明专利]SC切型石英晶片在线研磨测频方法有效
| 申请号： | 202010942406.7 | 申请日： | 2020-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN112162146B | 公开（公告）日： | 2021-04-27 |
| 发明（设计）人： | 潘凌锋;郭彬;陈浙泊;陈一信;林建宇;余建安;颜文俊;林斌;周巍;吴荻苇 | 申请（专利权）人： | 浙江大学台州研究院 |
| 主分类号： | G01R23/02 | 分类号： | G01R23/02;G01R29/027;G01R29/033 |
| 代理公司： | 杭州天昊专利代理事务所(特殊普通合伙) 33283 | 代理人： | 董世博;赵志鹏 |
| 地址： | 318000 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在线研磨测频系统，包括测频测试功能和在线测频功能；测频测试功能包括单次扫频双谐振频率波形匹配功能、单次扫频谐振频率数据处理功能、单位时间内数据处理功能；在线测频功能包括自动搜索功能和跟踪测频功能；本发明提供了一种处理效率高、处理精度高，双模频率精准区分的一种在线研磨测频系统。 | ||
| 搜索关键词： | sc 石英 晶片 在线 研磨 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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