[发明专利]硅单晶四爪等力矩在线抓取装置在审
| 申请号： | 202010969058.2 | 申请日： | 2020-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN111979577A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 逯占文;曹玉宝;李方;李占贤 | 申请（专利权）人： | 连城凯克斯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B29/06 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 李洪福 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅单晶四爪等力矩在线抓取装置，包括竖直穿入所述真空炉室内的单晶体承重外硬轴，所述单晶体承重外硬轴的底部安装有用于夹持单晶体的小肩部单晶体卡爪，且所述单晶体承重外硬轴的顶部具有驱动所述单晶体卡爪夹紧所述单晶体或松开所述单晶体的卡爪驱动装置；所述单晶体卡爪包括四个卡爪，所述卡爪驱动装置包括四个卷丝轮。本发明提供的抓取装置，没有单摆的共振特性，具有较强的强度和刚度，克服了热场对称性偏差、气流激励作用力对称性偏差、单晶生长参数等方面引起的晶体扰动的问题，在提高硅单晶内、外在品质、成品率、产能，降低成本、增强市场竞争力起到积极作用。 | ||
| 搜索关键词： | 硅单晶四爪 力矩 在线 抓取 装置 | ||
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- 本实用新型涉及一种籽晶稳固机构及籽晶提拉装置。籽晶稳固机构包括上法兰、平衡支柱、下法兰及分气盘；上法兰被配置为将籽晶稳固机构固定安装在单晶炉的晶转磁流体上；平衡支柱被配置为将下法兰连接在上法兰的下方；分气盘安装在下法兰的下方；上法兰、下法兰及分气盘上开设有供籽晶绳带动钼重锤升降通过的通孔，分气盘的通孔为锥形孔，锥形孔的锥度与钼重锤肩部的坡度相匹配。通过将籽晶稳固机构安装在单晶炉的晶转磁流体上，籽晶稳固机构由法兰与分气盘组成，并且在分气盘上设置锥形孔来匹配钼重锤肩部来定位，结构简单，成本低，即可以用于全新单晶炉，也可以用于已制造好的单晶炉的改造，适应性广。
- 用于减少硅生产过程中的硅晶体摇晃及跌落的系统及方法-202180052421.7
- 陆征;陈智勇;蔡丰键;林姗慧 - 环球晶圆股份有限公司
- 2021-07-22 - 2023-05-09 - C30B15/30
- 一种用于通过丘克拉斯基(Czochralski)法来产生硅晶锭的方法包含使含有硅熔体的坩埚旋转，使所述硅熔体与晶种接触，在所述坩埚围绕对称轴旋转的同时沿所述对称轴从所述硅熔体撤回所述晶种以形成硅晶锭，及诱发所述硅晶锭中的电流以抵抗所述硅晶锭远离所述对称轴的移动。
- 提拉装置及单晶炉-202223612629.0
- 曹建伟;朱亮;傅林坚;张俊;叶钢飞;倪军夫 - 浙江晶盛机电股份有限公司
- 2022-12-30 - 2023-05-02 - C30B15/30
- 本实用新型涉及一种提拉装置及单晶炉，提拉装置包括架体、绕线组件及导向组件，架体设置于单晶炉的顶部，绕线组件设置于架体，绕线组件包括缆索管，缆索管能够绕一竖直轴线转动的同时沿该竖直轴线滑动，以缠绕并提升籽晶绳；导向组件设置于架体，并位于绕线组件沿水平方向的一侧，导向组件用于将沿竖直方向伸入架体的籽晶绳引导至沿水平方向延伸。缆索管沿竖直方向滑动时，缆索管的重心在水平方向上始终是不变的，从而能够不增加配重结构的情况下避免设备整体的重心在水平方向上向一侧发生偏移，保证设备的稳定性，保证产品的质量；由于导向组件是位于绕线组件沿水平方向的一侧的，从而能够避免增大设备整体沿竖直方向的尺寸。
- 一种用于单晶炉的单晶提升机构及单晶炉-202310028974.X
- 尹嘉琦;王嘉;辛珊;吴新桦;张怿 - 连城凯克斯科技有限公司
- 2023-01-09 - 2023-04-28 - C30B15/30
- 本发明涉及一种用于单晶炉的单晶提升机构，包括晶转组件、晶升组件和定滑轮组件，晶转组件的顶部与晶升组件相连，且定滑轮组件设置于晶升组件上。晶升组件包括连接底盘、箱体、卷丝结构和压线结构。卷丝结构能够缠绕多圈卷丝绳，且能够通过旋转对卷丝绳进行收放。压线结构设置于卷丝结构的一侧，当卷丝绳出现跳线的情况时，压线结构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳，以使卷丝绳与卷丝结构重新相抵。定滑轮组件设置于晶升组件上，定滑轮组件用于将卷丝绳旋转转变为上下升降。通过在卷丝结构的一侧设置压线结构，在卷丝绳出现跳绳的现象时，当卷丝绳与压线机构接触时，压线机构能够朝向卷丝结构的一侧压紧卷丝绳，防止卷丝绳脱离绕线槽的现象。
- 一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构-202310072251.X
- 汪延成;谷子良;梅德庆;项飞鹤;陈宇宏 - 浙江大学
- 2023-02-07 - 2023-04-25 - C30B15/30
- 本发明公开了一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构。外杆和内杆分别由五根直径不同的外杆节和内杆节按照直径从大到小的顺序自上而下依次嵌套组成，第五外杆节和第五内杆节通过联动凸台固定连接，籽晶夹头与第五外杆节的下端面固定连接，第一内杆节和第二内杆节之间、第二内杆节和第三内杆节之间分别通过两个锁止单元连接，第三内杆节和第四内杆节之间通过减速传动组件连接，内杆套筒套设在第四内杆节的顶端，行星轮系与内杆套筒内侧壁固定连接，行星架放置在内杆套筒上，中心扣放置在行星架上。本发明能够有效降低单晶炉整体质心，减少电机振动激励，螺纹传动利于提高提拉速度控制精度，降低晶棒生长界面波动，提升晶棒生长质量。
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