[发明专利]一种协同驱动的高热流密度芯片相变散热装置和方法有效

专利信息
申请号: 202011080127.0 申请日: 2020-10-10
公开(公告)号: CN112201635B 公开(公告)日: 2023-06-13
发明(设计)人: 杨小平;刘杰;魏进家;张永海 申请(专利权)人: 西安交通大学
主分类号: H01L23/427 分类号: H01L23/427;H01L23/473;F28D15/04;F28D15/06
代理公司: 西安通大专利代理有限责任公司 61200 代理人: 马贵香
地址: 710049 *** 国省代码: 陕西;61
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摘要: 一种协同驱动的高热流密度芯片相变散热装置和方法,包括蒸发器、中心进液‑环周进汽式汽液两相流喷射升压装置、冷凝器、储液器和微泵;其中,蒸发器出口与中心进液‑环周进汽式汽液两相流喷射升压装置相连,中心进液‑环周进汽式汽液两相流喷射升压装置与冷凝器相连,冷凝器与储液器相连,储液器经过微泵与蒸发器入口相连。本发明通过设置中心进液‑环周进汽式汽液两相流喷射升压装置,一方面能够利用液体引射蒸发器蒸汽,从而降低蒸发器底板温度;另一方面还能在出口处形成高压液体,驱动液体回流,降低泵功;通过再散热系统中增加微泵用于驱动工质循环,可以加快液体工质的循环速率,有效降低补偿腔的漏热影响,同时可以增加热量传输距离。
搜索关键词: 一种 协同 驱动 热流 密度 芯片 相变 散热 装置 方法
【主权项】:
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