[发明专利]表面改性装置及表面改性方法在审
| 申请号： | 202011095544.2 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN112908812A | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 井上基弘 | 申请（专利权）人： | 株式会社沙迪克 |
| 主分类号： | H01J37/04 | 分类号： | H01J37/04;H01J37/30;H01J37/305 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 杨贝贝;臧建明 |
| 地址： | 日本神奈川县横滨*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种能够以简单的结构来大幅度降低制造费、维护管理费等费用，且能够容易对被照射体的照射孔的内侧面进行改性的表面改性装置及表面改性方法。本发明为表面改性装置(100)，包括：圆柱状的阴极电极(5A)，朝向被照射体(7)的照射孔(7A)的内侧面(7B)发射电子；以及集电极(5C)，将自所述阴极电极(5A)发射的电子回收，在所述集电极(5C)与所述被照射体(7)之间设置有绝缘构件(8)。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 改性 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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