[实用新型]一种飞秒激光双光子微加工装置有效

专利信息
申请号: 202020317654.8 申请日: 2020-03-13
公开(公告)号: CN211708363U 公开(公告)日: 2020-10-20
发明(设计)人: 何子健;陶卫东;孟祥俊;陈显兵 申请(专利权)人: 宁波大学;宁波格特威电机有限公司
主分类号: B23K26/00 分类号: B23K26/00;B23K26/046
代理公司: 宁波诚源专利事务所有限公司 33102 代理人: 徐雪波;王莹
地址: 315211 浙*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型涉及一种飞秒激光双光子微加工装置,包括控制器;五维运动平台,与控制器通信连接;飞秒激光器,设置在五维运动平台上;光开关,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,通过移动来阻断和打开激光传播;三维运动平台,与控制器通信连接;样品台,设置在三维运动平台,用于放置待加工的样品;激光反射镜,设置在飞秒激光器的激光传播路径上,用于改变激光的传播方向而将激光反射至样品上;聚焦透镜,设置在样品台上用于放置样品的位置上方,用于聚焦激光;摄像头,设置在聚焦透镜的上方。该飞秒激光双光子微加工装置能够控制飞秒激光器进行运动,减少反射镜片数量,降低光路调整的复杂度。
搜索关键词: 一种 激光 光子 加工 装置
【主权项】:
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