[实用新型]偶联剂蒸发装置及气相沉积系统

摘要

本实用新型实施例公开一种偶联剂蒸发装置及气相沉积系统，涉及气相沉积技术领域，用于对工件进行气相沉积操作。其中，偶联剂蒸发装置包括：多个偶联剂容纳部；支撑部，具有至少一个定位件，多个所述偶联剂容纳部等间距设置于所述支撑部的一侧，所述支撑部通过所述定位件固定在沉积室内壁上。本实用新型公开实施例通过在沉积室内壁上等间距设置多个用于蒸发偶联剂的偶联剂容纳部，可有效改善化学气相沉积过程中工件表面沉积的偶联剂的均匀度，进而提高气相沉积后的工件的质量。