[实用新型]铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置有效
申请号: | 202021597233.1 | 申请日: | 2020-08-05 |
公开(公告)号: | CN213724892U | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 曹季 | 申请(专利权)人: | 芯越芯(南京)电子科技有限公司 |
主分类号: | B01D3/00 | 分类号: | B01D3/00 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 何薇 |
地址: | 210018 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了铜互连前驱体二六氟乙酰丙酮铜脱水提纯装置,包括多个支撑杆、多个第二固定柱、多个第一固定柱和储水箱,所述支撑杆的顶部焊接有安装环,安装环的一侧通过螺栓固定有加热罐,加热罐的底部内壁通过螺栓固定有安装板,安装板的顶部通过螺栓固定有温度传感器,安装板的上表面设有加热板,且加热罐的一侧设有隔热门,所述加热罐的内部设有加热锅,且加热罐的顶部焊接有蒸馏管,蒸馏管的一端与储水箱相连接。本实用新型能够利用水蒸气液化时散发的温度对加热罐进行保温,充分利用加热时产生的热能,提高了提纯的效率,且实现了对六氟乙酰丙酮的提纯,提高六氟乙酰丙酮的利用率。 | ||
搜索关键词: | 互连 前驱 体二六氟 乙酰 丙酮 脱水 提纯 装置 | ||
【主权项】:
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