[发明专利]检查装置、检查方法以及膜的制造方法在审
| 申请号： | 202080027065.9 | 申请日： | 2020-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN113646624A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 尾崎麻耶;曾我部里惠 | 申请（专利权）人： | 住友化学株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/892 | 分类号： | G01N21/892;G02B5/30;G01M11/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 齐秀凤 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的一个实施方式所涉及的检查装置具备：检查光学系统，其具有照明部、和取得用于缺陷判定的检查图像的拍摄部；以及移动机构，其使膜移动，检查光学系统与移动机构独立地固定配置，移动机构具有使膜相对于检查光学系统向与膜的基准方向不同的第一方向移动的机构，拍摄部的拍摄区域(A)沿与第一方向不同的第二方向延伸，基准方向、第一方向以及第二方向与膜的厚度方向正交，基准方向与第一方向之间的第一角度(θ1)为15°以上且165°以下，第一方向与第二方向之间的第二角度(θ2)为15°以上且165°以下，基准方向与第二方向为非正交。 | ||
| 搜索关键词： | 检查 装置 方法 以及 制造 | ||
【主权项】：
暂无信息
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