[发明专利]沟槽中薄膜沉积的方法有效
申请号: | 202080027992.0 | 申请日: | 2020-02-19 |
公开(公告)号: | CN113677825B | 公开(公告)日: | 2023-10-24 |
发明(设计)人: | 郭津睿;卢多维克·戈代;罗格·梅耶·蒂默曼·蒂杰森;徐永安;杨政翰;陈建安 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;C23C16/56;G02B1/10 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 徐金国;赵静 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本公开内容的实施方式总体涉及在沉积、蚀刻和/或固化工艺期间利用掩模来处理含有基板的工件,以在工件上具有局部的沉积。将掩模放置在工件的第一层上,所述掩模保护复数个沟槽免受第二层的沉积的影响。在一些实施方式中,在第二层的沉积之前放置掩模。在其他实施方式中,在沉积掩模之前使第二层固化。在其他实施方式中,在沉积掩模之后蚀刻第二层。本文中所公开的方法允许在工件中所存在的沟槽中的一些中沉积第二层,而同时至少部分地防止在工件中所存在的其他沟槽中沉积第二层。 | ||
搜索关键词: | 沟槽 薄膜 沉积 方法 | ||
【主权项】:
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的