[发明专利]辐射源在审
| 申请号： | 202080053049.7 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN114174909A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | P·S·尤贝尔;S·T·鲍尔施米特;Y·倪 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/3513 | 分类号： | G02F1/3513;G02F1/365 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 赵林琳 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种辐射源，包括：中空芯光纤，工作介质；以及脉冲泵浦辐射源。该中空芯光纤包括主体并且具有中空芯。该工作介质被设置在该中空芯内。脉冲泵浦辐射源被布置为产生脉冲泵浦辐射，该脉冲泵浦辐射由中空芯接收并且从输入端传播通过中空芯至输出端。脉冲泵浦辐射、光纤和工作介质的参数被配置为允许脉冲泵浦辐射的孤子自压缩，以改变脉冲泵浦辐射的光谱，以便形成输出辐射。在一些实施例中，光纤的长度使得输出端基本上与脉冲泵浦辐射的时间范围为最小的位置重合。 | ||
| 搜索关键词： | 辐射源 | ||
【主权项】：
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- 一种辐射源，包括：中空芯光纤，工作介质；以及脉冲泵浦辐射源。该中空芯光纤包括主体并且具有中空芯。该工作介质被设置在该中空芯内。脉冲泵浦辐射源被布置为产生脉冲泵浦辐射，该脉冲泵浦辐射由中空芯接收并且从输入端传播通过中空芯至输出端。脉冲泵浦辐射、光纤和工作介质的参数被配置为允许脉冲泵浦辐射的孤子自压缩，以改变脉冲泵浦辐射的光谱，以便形成输出辐射。在一些实施例中，光纤的长度使得输出端基本上与脉冲泵浦辐射的时间范围为最小的位置重合。
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