[发明专利]一种单晶生长的坩埚和方法在审

专利信息
申请号: 202110003012.X 申请日: 2021-01-04
公开(公告)号: CN112877771A 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 魏汝省;李斌;赵丽霞;毛开礼;戴鑫;范云;靳霄曦;樊晓 申请(专利权)人: 山西烁科晶体有限公司
主分类号: C30B23/00 分类号: C30B23/00;C30B29/36
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘奇
地址: 030006 山西省太*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明提供了一种单晶生长的坩埚和方法,属于晶体生长技术领域。本发明提供的坩埚包括坩埚本体,所述坩埚本体包括保温结构,置于所述保温结构内部的加热坩埚,置于所述加热坩埚内部的生长坩埚;所述保温结构与加热坩埚底部相互接触,所述加热坩埚和生长坩埚底部相互接触;所述保温结构和加热坩埚的侧壁之间、所述加热坩埚和生长坩埚的侧壁之间有空隙。本发明的坩埚在加热坩埚和生长坩埚之间设置空隙并有气流通过,将从生长坩埚扩散出来的气氛由两层坩埚间的气流直接带出坩埚,避免了生长坩埚内挥发的气氛对加热坩埚以及保温结构的腐蚀,极大的延长了加热坩埚及保温材料的寿命;同时,保证了生长坩埚内的热场稳定,进而提高单晶生长的稳定性。
搜索关键词: 一种 生长 坩埚 方法
【主权项】:
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