[发明专利]一种区熔单晶炉高频加热掺杂线圈在审
| 申请号： | 202110138407.0 | 申请日： | 2021-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN112813490A | 公开（公告）日： | 2021-05-18 |
| 发明（设计）人： | 王遵义;刘凯;吴磊;边智学;孙健;孙晨光;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/12 | 分类号： | C30B13/12;C30B13/20 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种区熔单晶炉高频加热掺杂线圈，包括线圈本体和用于将掺杂气体送入熔区的掺杂管路，所述掺杂管路设置在线圈本体内部，所述掺杂管路的出气口设置在线圈本体内侧刃口，掺杂管路沿线圈本体径向设置。本发明所述的区熔单晶炉高频加热掺杂线圈将掺杂气体集中线圈内部，经掺杂管道直接送入熔区。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 区熔单晶炉 高频 加热 掺杂 线圈 | ||
【主权项】：
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