[发明专利]确定三维信息有效
| 申请号： | 202110287046.6 | 申请日： | 2021-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN113405493B | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | A·黎凡特;R·比斯特里泽 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01B15/04 | 分类号： | G01B15/04 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了用于确定基板的结构元件的三维(3D)信息的方法、非暂时性计算机可读介质和系统。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 三维 信息 | ||
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- 备前大辅;酒井计;角田纯一;白井真纯;山崎实 - 株式会社日立高新技术
- 2020-03-30 - 2022-09-06 - G01B15/04
- 实现校正了机差的粗糙度测量。因此，使用表示粗糙度指标计算中的基准机对预先形成于机差管理用晶片上的线图案测量出的线图案的功率谱密度的第一PSD数据和表示校正对象机对形成于机差管理用晶片上的线图案测量出的线图案的功率谱密度的第二PSD数据，求出将第二PSD数据的功率谱密度校正为第一PSD数据的功率谱密度的校正方法，根据形成于测量对象晶片上的线图案的扫描像，测量形成于测量对象晶片上的线图案的功率谱密度而作为第三PSD数据，计算通过求出的校正方法校正第三PSD数据的功率谱密度后的校正功率谱密度。
- 图案边缘检测方法、图案边缘检测装置、记录有用于让计算机执行图案边缘检测的程序的记录介质-202080092004.0
- 冈本阳介 - 塔斯米特株式会社
- 2020-12-10 - 2022-08-26 - G01B15/04
- 本发明涉及从由扫描电子显微镜生成的图像中检测与半导体制造有关的在晶圆或掩膜等工件上形成的图案的边缘(轮廓线)的方法。图案边缘检测方法中，生成在工件上形成的目标图案的对象图像，生成表示对象图像的各像素的多个特征量的特征向量，将特征向量输入至通过机器学习构建出的模型，从模型输出表示具有特征向量的像素为边缘的像素还是非边缘的像素的判定结果，将得到了表示边缘的像素的判定结果的具有特征向量的多个像素以线相连来生成假想边缘。
- 专利分类
- 信息记录介质、信息记录方法、信息记录设备、信息再现方法和信息再现设备
- 信息记录装置、信息记录方法、信息记录介质、信息复制装置和信息复制方法
- 信息记录装置、信息再现装置、信息记录方法、信息再现方法、信息记录程序、信息再现程序、以及信息记录介质
- 信息记录装置、信息再现装置、信息记录方法、信息再现方法、信息记录程序、信息再现程序、以及信息记录介质
- 信息记录设备、信息重放设备、信息记录方法、信息重放方法、以及信息记录介质
- 信息存储介质、信息记录方法、信息重放方法、信息记录设备、以及信息重放设备
- 信息存储介质、信息记录方法、信息回放方法、信息记录设备和信息回放设备
- 信息记录介质、信息记录方法、信息记录装置、信息再现方法和信息再现装置
- 信息终端，信息终端的信息呈现方法和信息呈现程序
- 信息创建、信息发送方法及信息创建、信息发送装置
