[发明专利]一种声音探测器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202110363361.2 | 申请日： | 2021-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN113086941B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 赵天石;赵春;赵策洲;刘伊娜;杨莉 | 申请（专利权）人： | 西交利物浦大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声音探测器件及其制备方法。该声音探测器件包括：衬底基板；突触晶体管，位于所述衬底基板的一侧；所述突触晶体管包括栅极、源极和漏极、位于所述栅极与所述源极和漏极之间的电荷存储层、位于电荷存储层与栅极之间的绝缘层、以及位于电荷存储层与源极和漏极之间的沟道层，且源极和漏极分别与沟道层电连接；纳米摩擦发电机，位于衬底基板的一侧；纳米摩擦发电机包括相对设置的正摩擦层和负摩擦层；正摩擦层与栅极电连接；纳米摩擦发电机用于在声波的驱动下，控制正摩擦层与负摩擦层接触或分离。本技术方案通过将突触晶体管和纳米摩擦发电机结合实现了声音探测器件的自驱动，降低了声音探测器件的功耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 声音 探测 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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