[发明专利]柔性X射线探测器及其制备方法、三维柔性X射线探测器

摘要

本发明提供了一种柔性X射线探测器及其制备方法，该X射线探测器包括光电转换单元和闪烁体层；所述闪烁体层设置于所述光电转换单元上，用于将接收到的X射线转换为荧光并发射至光电转换单元；所述光电转换单元的支撑衬底为柔性衬底，所述光电转换单元中的光吸收层为铜铟镓硒光吸收层，所述光电转换单元用于对所述闪烁体层转换出的荧光进行光电转换；其中，所述闪烁体层中设置有接收X射线的入光面和发射荧光的出光面，所述出光面连接至所述光电转换单元，所述入光面为与所述出光面相交的侧面。本发明的柔性X射线探测器具有高灵敏度和高能谱分辨率的优良特性，并且采用不锈钢衬底实现超薄光电二级管阵列的制作，具有柔性和易折叠的特性。