[发明专利]一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明提供一种表面具有拓扑图案的金刚石薄膜及其制备方法和应用，所述制备方法包括如下步骤：(1)在基底上制备拓扑图案，得到具有拓扑图案的基底；所述拓扑图案的制备方法选自光刻结合电感耦合等离子体刻蚀法、湿法刻蚀法或激光直写法中的任意一种；(2)在步骤(1)得到的具有拓扑图案的基底上沉积金刚石薄膜，得到所述表面具有拓扑图案的金刚石薄膜。所述制备方法具有可大面积制备、高精度以及图案可控的优点，由所述制备方法得到的金刚石薄膜可应用于牙科植入材料、骨科植入材料或者生物探针中。