[发明专利]一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法在审
| 申请号： | 202110667270.8 | 申请日： | 2021-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN115480393A | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 陈笑迎;游丽君;赵丽丽;宋力昕;郑刚;王枫 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00;G02B5/08 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种提高高反射薄膜激光损伤阈值的方法，包括：根据高反射薄膜性能要求按照1/4波长厚度设计出相应膜系，总层数为N层，N＞7；设定薄膜内部电压强度最大值为E |
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| 搜索关键词： | 一种 提高 反射 薄膜 激光 损伤 阈值 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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