[发明专利]一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法有效
| 申请号： | 202110792971.4 | 申请日： | 2021-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN113550008B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 孙德辉;王蒙;韩文斌;刘宏 | 申请（专利权）人： | 山东恒元半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/30 | 分类号： | C30B29/30;C30B15/00;C30B15/16 |
| 代理公司： | 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 | 代理人： | 薛鹏喜 |
| 地址： | 271199 山东省济南市莱芜高新*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法，包括铂金坩埚和位于生长装置内的可以旋转升降的籽晶杆；所述铂金坩埚外包覆保温层；所述保温层上缠绕加热线圈；所述籽晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中；所述铂金坩埚的上方设有上窄下宽的水冷罩，所述水冷罩的内部中空；所述水冷罩底端的宽度大于或等于铌酸锂晶体的直径；所述籽晶杆贯穿水冷罩的正中央；所述水冷罩上分别设有进水管和出水管，所述进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通；所述水冷罩上设有控制水冷罩上下移动的升降杆，所述升降杆贯穿保温层。本发明能够解决溶体对流缓慢，晶体生长界面处温度梯度小等问题，适合8～12英寸晶圆的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超大 尺寸 铌酸锂 晶体 生长 装置 方法 | ||
【主权项】：
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