[发明专利]一种利用DVD光盘制备具有光栅结构二氧化钛薄膜的方法及其制成的薄膜和应用在审
| 申请号： | 202111013985.8 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113744767A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 梁振耀;肖也;董新永 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G11B7/2534 | 分类号： | G11B7/2534 |
| 代理公司： | 广东广信君达律师事务所 44329 | 代理人： | 张燕玲 |
| 地址： | 510062 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： |
本发明属于半导体薄膜技术领域，公开了一种利用DVD光盘制备具有光栅结构二氧化钛薄膜的方法及其制成的薄膜和应用。将无水乙醇，三乙醇胺，钛酸四丁酯和去离子水搅拌混合，配置成前驱液，将前驱液旋涂在干净的透明导电玻璃上，随后将预先制备的聚二甲基硅氧烷薄膜附着在具有湿膜的透明导电玻璃上，并施以150帕斯卡的压力，烘干箱中退火；待冷却至室温后，揭开附着在透明导电玻璃的聚二甲基硅氧烷薄膜，然后将透明导电玻璃玻璃放入马弗炉进行550℃退火2小时，得到具有光栅结构TiO |
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| 搜索关键词： | 一种 利用 dvd 光盘 制备 具有 光栅 结构 氧化 薄膜 方法 及其 制成 应用 | ||
【主权项】：
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