[发明专利]金属-钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料及制备方法有效

专利信息
申请号: 202111432783.7 申请日: 2021-11-29
公开(公告)号: CN114335328B 公开(公告)日: 2023-10-20
发明(设计)人: 金立川;徐鑫锴;唐晓莉;钟智勇;向全军;白飞明;张怀武 申请(专利权)人: 电子科技大学
主分类号: H10N52/85 分类号: H10N52/85;H10N52/00;C23C14/35;C23C14/14;C23C14/08
代理公司: 电子科技大学专利中心 51203 代理人: 吴姗霖
地址: 611731 四川省成*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 一种金属‑钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料,属于自旋电子新材料技术领域。所述巨自旋霍尔角材料为生长于基片之上的金属‑钛氧化物复合薄膜;所述金属‑钛氧化物复合薄膜中,钛氧化物的摩尔百分比为1mol%~20mol%,金属的摩尔百分比为80mol%~99mol%。本发明提供的金属‑钛氧化物复合颗粒膜巨自旋霍尔角材料及制备方法和应用,方法简单易行,制备得到的金属‑钛氧化物复合薄膜相对于纯的金属薄膜,其室温下的自旋霍尔角度显著增加(铂‑氧化钛薄膜的室温自旋霍尔角度可达1.6,比纯铂的自旋霍尔角0.15提高了一个数量级),室温自旋扩散长度减小。
搜索关键词: 金属 氧化物 复合 颗粒 自旋 霍尔 材料 制备 方法
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