[发明专利]一种化学机械抛光用CeO2 在审
| 申请号： | 202111511606.8 | 申请日： | 2021-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN114032034A | 公开（公告）日： | 2022-02-11 |
| 发明（设计）人： | 许宁;马家辉;雒玉欣;刘琦;李灏辉 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02;C09K3/14 |
| 代理公司： | 西安众和至成知识产权代理事务所(普通合伙) 61249 | 代理人： | 强宏超 |
| 地址： | 710021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种化学机械抛光用CeO |
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| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 ceo base sub | ||
【主权项】：
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