[发明专利]双向二极管结构及其制备方法在审
| 申请号： | 202111629179.3 | 申请日： | 2021-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN114429993A | 公开（公告）日： | 2022-05-03 |
| 发明（设计）人： | 施宜军;陈义强;贺致远;王宏跃;徐新兵;路国光;黄云 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | H01L29/788 | 分类号： | H01L29/788;H01L21/336 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 史治法 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种双向二极管结构及其制备方法。本发明的双向二极管结构包括：第一栅极结构；第二栅极结构，位于第一栅极结构的一侧，与第一栅极结构具有间距；阳极，位于第一栅极结构远离第二栅极结构的一侧，与第一栅极结构具有间距；阴极，位于第二栅极结构远离第一栅极结构的一侧，与第二栅极结构具有间距；第一电容，第一电容的第一极板与阳极相连接，第一电容的第二极板与第一栅极结构相连接；第二电容，第二电容的第一极板与阴极相连接，第二电容的第二极板与第二栅极结构相连接。本发明的双向二极管可以使ESD引起的累积静电电荷被有效地释放，避免ESD对器件结构的破坏，从而增强器件结构的ESD鲁棒性。 | ||
| 搜索关键词： | 双向二极管 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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