[实用新型]一种晶体生长设备有效
申请号: | 202120746990.9 | 申请日: | 2021-04-13 |
公开(公告)号: | CN214881928U | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 张春林 | 申请(专利权)人: | 天津物科光电技术有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B15/00 |
代理公司: | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人: | 袁克来 |
地址: | 300000 天津市北辰区天津北辰经济技术*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及晶体生长技术领域,具体公开了一种晶体生长设备,包括晶体生长炉,所述晶体生长炉上端开口设有炉盖,还包括晶体炉架,所述晶体炉架包括底座和升降组件;所述底座一端设有承载晶体生长炉的承载平台,所述升降组件包括水平布置的横梁和固定于底座对应承载平台两侧的升降柱,晶体生长设备的晶体生长炉能够安装在底座的承载平台上,承载能够在驱动机构的驱动下带动晶体生长炉转动;升降组件的横梁能够精确控制高度,从而调整籽晶杆的提拉高度;结合承载平台的旋转作用和升降组件的高度调整作用;可以使籽晶杆与晶体生长炉的炉体中心较为精准的对准同时又保证炉体的稳定性;有助于提高晶体生长质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 设备 | ||
【主权项】:
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