[实用新型]一种集成电路厂的氩气分配器有效
申请号: | 202122171460.9 | 申请日: | 2021-09-08 |
公开(公告)号: | CN215862868U | 公开(公告)日: | 2022-02-18 |
发明(设计)人: | 李鹏;唐宏 | 申请(专利权)人: | 上海精泰机电系统工程有限公司 |
主分类号: | F17C7/00 | 分类号: | F17C7/00;F17C13/00;F17C13/04;F17C13/02;F17D1/04;F17D3/01;B01D46/00 |
代理公司: | 上海容慧专利代理事务所(普通合伙) 31287 | 代理人: | 于晓菁 |
地址: | 201206 上海市浦东新区中国*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种集成电路厂的氩气分配器,至少包括一组供气分配单元,所述供气分配单元包括储气罐、截断阀和纯化器,于所述储气罐的进气口连接进气管,于所述进气管的管路上依照进气输送路径依次设置截断阀和纯化器,于所述储气罐上设置多个供气口,于每个所述供气口连接设置供气管。通过设置氩气分配器对施工所需的氩气进行集中供气分配,并通过各分路流量计的调节控制各个分路氩气的通断及流量,相比于每个小组各自携带小钢瓶施工,对气源的使用更为便捷,同时可以对气源实施集中管理,可安排专人定时进行高纯度大容量氩气瓶的更换和管理,减少以往多次、多人进行氩气瓶的使用和更换而造成的安全事故发生。 | ||
搜索关键词: | 一种 集成电路 分配器 | ||
【主权项】:
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