[实用新型]一种防污膜注液装置及真空镀膜机有效
| 申请号： | 202122395174.0 | 申请日： | 2021-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN215887204U | 公开（公告）日： | 2022-02-22 |
| 发明（设计）人： | 张波;吴凯;王德智;戴秀海;龙汝磊 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 廖微 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，公开一种防污膜注液装置及真空镀膜机。其中防污膜注液装置包括注液泵、流量检测件和多个注液嘴，注液泵的进口与药液管路连通，出口设置有注液主管；多个注液嘴一一对应地通过注液支管与注液主管连通，每个注液支管上均设置有液体开关阀，某一液体开关阀打开，以使与该液体开关阀连通的注液嘴注液泵连通；流量检测件被配置为能检测进入每个注液嘴的药液的量。本实用新型提供的防污膜注液装置，通过一个流量泵就可以实现多个注液嘴的注液，减少流量泵的使用，有利于提高防污膜注液装置的经济性，同时简化防污膜注液装置的线路布置；流量检测件使每个注液嘴的药液量可知，提高注液的准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防污 膜注液 装置 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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