[发明专利]观测对象气体的渗透扩散路径观测装置和观测对象气体的测量方法、点缺陷位置检测装置和点缺陷位置检测方法、以及观测用试样在审
| 申请号： | 202180017533.9 | 申请日： | 2021-02-25 |
| 公开（公告）号： | CN115210844A | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 中村明子;村瀬义治;西川嗣彬;矢个部太郎;宫内直弥 | 申请（专利权）人： | 国立研究开发法人物质·材料研究机构 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/244;H01J37/28;G01N23/2204;G01N23/2208;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 朴今春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请包括扫描式电子显微镜(15)、检测观测对象离子的观测对象离子检测部(20)、向连接于试样(17)背面侧的观测对象气体配管(14)提供观测对象气体的观测对象气体提供部(19)、能够安装试样(17)作为分隔分析室(11)与观测对象气体配管(14)之间的隔膜的隔膜型试样架(12)、以及控制部(50)，控制部(50)获取SEM图像的同时，在提供观测对象气体并在通过分析室(11)与观测对象气体配管(14)之间的差压使试样产生应力的状态下，通过电子激发脱离，检测向试样内扩散并向表面逸出的观测对象气体，并获取观测对象离子的ESD图像，由此能够探求由观测对象气体引起的结构材料脆化现象这样的劣化现象的机理。 | ||
| 搜索关键词： | 观测 对象 气体 渗透 扩散 路径 装置 测量方法 点缺陷 位置 检测 方法 以及 试样 | ||
【主权项】：
暂无信息
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