[发明专利]除污装置

摘要

提供一种除污装置，能够在除污操作的前后或除污中确认雾循环分散单元是否正确地工作且能够保证作为除污装置的工作。具备雾供给单元、雾循环分散单元及超声波检测单元。雾供给单元将用于对作业室的内部进行除污的除污用药液变换为除污用雾，并向作业室的内部供给该除污用雾。雾循环分散单元使具备多个超声波发送器的振动盘进行超声波振动而从盘面向垂直方向产生基于超声波的声流，使基于该声流的声辐射压的按压作用于除污用雾而使该除污用雾在作业室内循环分散。超声波检测单元具备用于检测超声波发送器的工作的超声波接收器，检测振动盘具备的多个超声波发送器整体和/或各个超声波发送器的工作。