[发明专利]静电偏转会聚型能量分析仪、成像型电子光谱装置、反射成像型电子光谱装置以及自旋矢量分布成像装置在审
| 申请号： | 202180049046.0 | 申请日： | 2021-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN115803844A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | 松田博之;松井文彦 | 申请（专利权）人： | 大学共同利用机关法人自然科学研究机构 |
| 主分类号： | H01J37/252 | 分类号： | H01J37/252 |
| 代理公司： | 中国商标专利事务所有限公司 11234 | 代理人： | 桑丽茹 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种静电偏转会聚型能量分析仪，其具有宽的接收角和高的二维会聚性能，可以对二维的实空间图像或发射角度分布进行成像，并能够在相对于入射方向的90°偏转下进行二维会聚和成像。一个或多个外侧电极和多个内侧电极沿着在共同旋转轴的内侧和外侧上形成的两个旋转体的形状色设置。其中，外侧电极的内表面形状是朝向两端直径变小的锥形，内侧电极的外表面形状是朝向两端直径变小的锥形。在旋转轴两端的外侧电极上分别形成有电子的入射孔和出射孔。将用于电子加速和减速的电压与入射电子的能量成比例地施加在外侧电极和内侧电极上。对除了两端的内侧电极以外的一个或多个电极施加电压，该电压是基于形成有入射孔的外侧电极的电势为基准，将电子的能量换算成加速电压得到的换算加速电压2倍以上的电压。 | ||
| 搜索关键词： | 静电 偏转 会聚 能量 分析 成像 电子 光谱 装置 反射 以及 自旋 矢量 分布 | ||
【主权项】：
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