[发明专利]气体激光装置和电子器件的制造方法在审
| 申请号： | 202180093444.2 | 申请日： | 2021-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN116918196A | 公开（公告）日： | 2023-10-20 |
| 发明（设计）人： | 石田启介 | 申请（专利权）人： | 极光先进雷射株式会社 |
| 主分类号： | H01S3/104 | 分类号： | H01S3/104 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于英慧 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 气体激光装置具有：激光振荡器，其包含一对放电电极和激光侧谐振器，该一对放电电极相互对置地配置且通过施加电压而利用激光气体产生光，该激光侧谐振器使光进行谐振；放大器，其包含放大部和放大侧谐振器；分束器，其使来自激光侧谐振器的光的一部分反射；光传感器，其检测被分束器反射的光；以及处理器，其根据光传感器的输出对电压进行控制。放大侧谐振器包含后镜和放大侧输出耦合镜，激光侧谐振器包含光栅和激光侧输出耦合镜。在电压低于电压的阈值的情况下，处理器将电压维持在阈值以上的固定值。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 激光 装置 电子器件 制造 方法 | ||
【主权项】：
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