[发明专利]涂布设备在审
| 申请号： | 202210023417.4 | 申请日： | 2022-01-10 |
| 公开（公告）号： | CN116441133A | 公开（公告）日： | 2023-07-18 |
| 发明（设计）人： | 张恒;王锦山 | 申请（专利权）人： | 上海德沪涂膜设备有限公司 |
| 主分类号： | B05C15/00 | 分类号： | B05C15/00;B05C11/00;B05C13/00;B05C5/00;B05C11/10 |
| 代理公司： | 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 | 代理人： | 邱爽 |
| 地址： | 200000 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开描述一种涂布设备，包括洁净箱、气流引导机构、支承机构、以及供料机构，洁净箱包括具有容纳空间的箱体、以及设置在箱体上且与容纳空间连通的第一风洞和第二风洞，气流引导机构包括风机、进气管道、排气管道、循环管道、以及试剂含量控制器，风机用于引导气流，进气管道经由风机和第一风洞而与容纳空间连通，排气管道经由第二风洞而与容纳空间连通，循环管道连通进气管道和排气管道，试剂含量控制器设置在循环管道与风机的连通路径上并配置为控制流经试剂含量控制器的气流中的气化试剂的含量，支承机构和供料机构设置在容纳空间内，支承机构用于支承涂布对象，供料机构包括分配液体试剂的分配部。 | ||
| 搜索关键词： | 布设 | ||
【主权项】：
暂无信息
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