[发明专利]一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法在审
申请号: | 202210077939.2 | 申请日: | 2022-01-24 |
公开(公告)号: | CN114485463A | 公开(公告)日: | 2022-05-13 |
发明(设计)人: | 张盈;张兴;高阳;杜渐;李杨;杜惠杰;尹思瑶;李晓威;费锦东 | 申请(专利权)人: | 北京仿真中心 |
主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24;G01B9/02015;G01M11/02 |
代理公司: | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人: | 张帆 |
地址: | 100854 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明的一个实施例公开了一种镀膜光学反射镜的测试装置及其方法,所述装置包括干涉仪和高真空低冷环境模拟舱,其中,所述干涉仪用于测试镀膜光学反射镜的面型并判断光学反射镜的膜层是否正常;所述高真空低冷环境模拟舱用于为待测镀膜光学反射镜提供测试环境。从而解决了无法在常温下测试无法验证镀膜光学反射镜在高真空低温情况下性能的问题,具有广泛的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 镀膜 光学 反射 测试 装置 及其 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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