[发明专利]一种基于LiPON固态电解质的锂离子电容器的制备方法有效

专利信息
申请号: 202210161600.0 申请日: 2022-02-22
公开(公告)号: CN114551116B 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 闫欣雨;姬高奇;王俊强;李孟委;李晋华 申请(专利权)人: 中北大学
主分类号: H01G11/56 分类号: H01G11/56;H01G11/50;H01M10/058;H01M10/0525
代理公司: 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 代理人: 连慧敏
地址: 030051 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 发明属于电容器的制备方法技术领域,具体涉及一种基于LiPON固态电解质的锂离子电容器的制备方法,包括下列步骤:先设置一层Si基底;提供Al靶材,通过反应磁控溅射,在S Si基底上沉积Al层集流体;制备石墨烯靶材,以石墨烯为靶材,利用反应磁控溅射,在Al层集流体上沉积石墨烯层;提供Li3PO4靶材,以Li3PO4为靶材,利用反应磁控溅射,在石墨烯层上沉积LiPON电解质层;以石墨烯为靶材,利用反应磁控溅射,在LiPON电解质层上沉积石墨烯层;以Al为靶材,通过反应磁控溅射,在石墨烯层上沉积Al层集流体。本发明充分运用石墨烯的高比表面积、高导电性、高离子迁移率以及良好的浸润性的特性,制备具有高离子电导率、良好安全性能和长循环寿命的锂离子电容器。
搜索关键词: 一种 基于 lipon 固态 电解质 锂离子 电容器 制备 方法
【主权项】:
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