[发明专利]一种基于LiPON固态电解质的锂离子电容器的制备方法有效
申请号: | 202210161600.0 | 申请日: | 2022-02-22 |
公开(公告)号: | CN114551116B | 公开(公告)日: | 2023-08-29 |
发明(设计)人: | 闫欣雨;姬高奇;王俊强;李孟委;李晋华 | 申请(专利权)人: | 中北大学 |
主分类号: | H01G11/56 | 分类号: | H01G11/56;H01G11/50;H01M10/058;H01M10/0525 |
代理公司: | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人: | 连慧敏 |
地址: | 030051 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: |
本发明属于电容器的制备方法技术领域,具体涉及一种基于LiPON固态电解质的锂离子电容器的制备方法,包括下列步骤:先设置一层Si基底;提供Al靶材,通过反应磁控溅射,在S Si基底上沉积Al层集流体;制备石墨烯靶材,以石墨烯为靶材,利用反应磁控溅射,在Al层集流体上沉积石墨烯层;提供Li |
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搜索关键词: | 一种 基于 lipon 固态 电解质 锂离子 电容器 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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