[发明专利]压电薄膜、压电薄膜元件及压电换能器在审
| 申请号： | 202210188165.0 | 申请日： | 2022-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN115050888A | 公开（公告）日： | 2022-09-13 |
| 发明（设计）人： | 森下纯平 | 申请（专利权）人： | TDK株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/18;H01L41/187;H04R17/00;B06B1/06 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 压电薄膜包含第一压电层和直接重叠于第一压电层的第二压电层。第一压电层包含钙钛矿型氧化物的四方晶1。第二压电层包含钙钛矿型氧化物的四方晶2。四方晶1的(001)面在压电薄膜的表面的法线方向dn上取向。四方晶2的(001)面在压电薄膜的表面的法线方向dn上取向。四方晶1的(001)面的间隔为c1。四方晶1的(100)面的间隔为a1。四方晶2的(001)面的间隔为c2。四方晶2的(100)面的间隔为a2。c2/a2大于c1/a1。c1/a1为1.015以上且1.050以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 薄膜 元件 换能器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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