[发明专利]氮化镓外延片的制备方法在审
申请号: | 202210242971.1 | 申请日: | 2022-03-11 |
公开(公告)号: | CN116770429A | 公开(公告)日: | 2023-09-19 |
发明(设计)人: | 李兵兵;黄兆斌 | 申请(专利权)人: | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
主分类号: | C30B25/18 | 分类号: | C30B25/18;C30B29/40;H01L21/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 廖媛敏 |
地址: | 402760 重庆市璧*** | 国省代码: | 重庆;50 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本申请涉及一种氮化镓外延片的制备方法,所述制备方法包括:提供一衬底;在所述衬底上生长高温氮化镓核;在所述衬底及所述高温氮化镓核上完成低温氮化镓成核层的生长;在所述衬底、所述高温氮化镓核及所述低温氮化镓成核层上完成氮化镓岛的三维生长;对所述氮化镓岛进行二维生长,其解决了氮化镓外延片生长状态受到金属有机化学气相沉积设备的反应腔状态影响的问题。 | ||
搜索关键词: | 氮化 外延 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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