[发明专利]一种用于管状靶材的真空烧结系统有效
| 申请号： | 202210265521.4 | 申请日： | 2022-03-17 |
| 公开（公告）号： | CN114623679B | 公开（公告）日： | 2023-05-12 |
| 发明（设计）人： | 唐智勇 | 申请（专利权）人： | 株洲火炬安泰新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/04 | 分类号： | F27B5/04;F27B5/14;F27B5/18;F27D7/06 |
| 代理公司： | 湖南正则奇美专利代理事务所(普通合伙) 43105 | 代理人： | 蔡敏 |
| 地址： | 410000 湖南省株洲*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于管状靶材的真空烧结系统，第一压盖设置有第一模具，第二压盖设置有第二模具，第一模具与第二模具配合用于成型，第一保温壳与第二保温壳形成的加热腔内设置有加热装置；第一压盖设置在机架上，第二压盖固定连接在加压装置的输出端，加压装置固定连接在机架上；加压装置包括恒压装置和反馈装置，恒压装置用于提供稳定压力，反馈装置用于提供附加压力；通过反馈系统以位置为依据，当第一模具逐渐靠近第二模具时，反馈装置提供的附加压力逐渐变大，使素坯所受压力在烧结过程为逐渐变大，较小的初始力避免过早得出较大的晶粒，靶材烧结过程中各部位的累积受力的差异缩小，从而使各部位的晶粒的大小趋于均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 管状 真空 烧结 系统 | ||
【主权项】：
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