[发明专利]一种基于多点检测的焦面调平方法及系统在审
| 申请号： | 202210314922.4 | 申请日： | 2022-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN116931392A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 董贤子;王天伟;郑美玲;金峰;刘洁 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 张雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于多点检测的焦面调平方法，该方法包括：利用计算机对样品待曝光区域进行网格划分；记录每一格点的x，y轴坐标；针对每一格点，采集检测光束聚焦在该格点的聚焦图像，利用计算机控制移动台的z轴高度，将该格点的聚焦图像与标准图像数据的差值在精度控制范围内时的z轴高度记录为该格点的z轴坐标，建立格点坐标(x，y，z)数据库；根据每相邻四个格点的坐标，计算四个格点围成的区域内任一点(x，y)的z轴坐标；利用计算机控制移动台将曝光光束移动到曝光区域，对曝光区域进行焦面z轴位移补偿后曝光。本发明提供的焦面调平方法可实现在光刻曝光过程中实时补偿焦面高度的变化，实现成像或曝光焦面高度的一致性控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 多点 检测 焦面调 平方 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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