[发明专利]一种晶圆减薄用高效研磨胶带及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202210358572.1 申请日: 2022-04-06
公开(公告)号: CN115247032B 公开(公告)日: 2023-10-17
发明(设计)人: 张程 申请(专利权)人: 上海固柯胶带科技有限公司
主分类号: C09J7/25 分类号: C09J7/25;C09J7/30;C09J131/04;C09J11/08;C09J11/04;C09J11/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201499 上海市奉贤*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 暂无信息 说明书: 暂无信息
摘要: 发明涉及C09J研磨胶带术领域,更具体地,本发明提供了一种晶圆减薄用高效研磨胶带及其制备方法。本发明以醋酸乙烯酯、N‑羟甲基丙烯酰胺、甲基丙烯酸缩水甘油酯、过氧化苯甲酰、苯乙烯‑丁二烯‑苯乙烯嵌段共聚物、丁腈橡胶、三乙醇胺、六亚甲基四胺等物质为原料,制备得到的多功能粘结剂在涂布过程中无气泡,且胶层厚度均匀,与现有技术相比,具有优异的耐磨性能、抗压强度、拉伸强度、剥离强度,在半导体加工领域具有潜在的应用前景。
搜索关键词: 一种 晶圆减薄用 高效 研磨 胶带 及其 制备 方法
【主权项】:
暂无信息
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