[发明专利]一种基于金属隧穿结的可栅控开关器件的实现方法在审
| 申请号： | 202210360109.0 | 申请日： | 2022-04-07 |
| 公开（公告）号： | CN116936624A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 田仲政;于达程;任中阳;田姣姣;任黎明;傅云义 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H01L29/66 | 分类号： | H01L29/66 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公布了一种基于金属隧穿结的可栅控开关器件的实现方法，属于纳米或原子尺度器件领域。该方法在隧穿结结构之外，引入一个开关控制电极，开关控制电极经由介质或空气与隧穿结隔开，实现电绝缘。在开关控制电极上施加电压，则开关控制电极与隧穿结之间也会形成电场。因开关控制电极电场的引入，改变了隧穿结表面的电场分布，产生了垂直于沟道方向的电场分量。垂直沟道方向的电场分量，对隧穿结表面的原子同样也有库仑力作用，可使原子沿垂直于沟道方向迁移，使得原本停留在隧穿电极对尖端的原子，将会向两侧移动，而离开尖端位置，从而实现了通过开关控制电极控制隧穿结电流大小的目的，实现了可栅控开关。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 金属 隧穿结 可栅控 开关 器件 实现 方法 | ||
【主权项】：
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