[发明专利]一种热电多参数测试系统和方法在审
| 申请号： | 202210365130.X | 申请日： | 2022-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN116929441A | 公开（公告）日： | 2023-10-24 |
| 发明（设计）人： | 狄重安;刘力瑶;李志毅;邹业;孟青;代小娟;朱道本 | 申请（专利权）人： | 中国科学院化学研究所 |
| 主分类号： | G01D21/02 | 分类号： | G01D21/02;G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京天达知识产权代理事务所有限公司 11386 | 代理人： | 张同玲 |
| 地址： | 100190 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明涉及一种热电多参数测试系统和方法，属于热电性能表征技术领域，解决了现有的热电测试系统和方法繁琐、周期长、效率低的问题。包括机柜和设置在机柜上表面的探针台测试装置，探针台测试装置包括探针台基底、测试腔体、四组分立式测试探针装置和多参数测试装置；多参数测试装置设置在测试腔体内，分立式测试探针装置的一端穿透测试腔体的腔壁；多参数测试装置包括温度控制装置、芯片放置装置、一体化测试探针组、盖子，温度控制装置的上表面设置有一个高台面和一个低台面，芯片放置装置位于低台面上，芯片放置装置设置有芯片槽，一体化测试探针组位于芯片槽中，盖子盖在芯片放置装置上。该系统测试简单、效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 热电 参数 测试 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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